單板芯片失效分析
“芯”觀察丨單板芯片失效分析
背景介紹
某型號(hào)單板經(jīng)過幾次插拔后出現(xiàn)了IO引腳及SADOUT引腳對(duì)地短路失效的現(xiàn)象。下文對(duì)失效芯片和正常芯片進(jìn)行分析,查找失效原因。
測(cè)試分析
1 外觀檢查
外觀檢查顯示:失效芯片表面有少量三防漆,引腳處也有連錫現(xiàn)象,未發(fā)現(xiàn)明顯破損及裂紋,絲印也比較清晰。
2 X-ray檢查
結(jié)果顯示:失效芯片外部引腳有連錫現(xiàn)象,內(nèi)部鍵合良好,無(wú)明顯抬起現(xiàn)象,內(nèi)部結(jié)構(gòu)也未發(fā)現(xiàn)明顯異常。
圖2 失效樣品X-ray檢查形貌
圖3 正常樣品X-ray檢查形貌
3 失效現(xiàn)象確認(rèn)
對(duì)比OK芯片,測(cè)試失效芯片引腳間的半導(dǎo)體特性曲線,確認(rèn)失效現(xiàn)象。
測(cè)試結(jié)果顯示:失效芯片pin7引腳與GND為短路失效,pin8引腳與GND有輕微漏電,背景信息基本一致,其他引腳未發(fā)現(xiàn)有明顯失效。(紅線為失效芯片半導(dǎo)體特性曲線,藍(lán)線為正常芯片半導(dǎo)體特性曲線)
圖4 失效樣品引腳間典型半導(dǎo)體特性曲線
4 超聲掃描
對(duì)失效芯片和正常芯片進(jìn)行超聲掃描。結(jié)果顯示:失效芯片晶元表面、二焊點(diǎn)都未發(fā)現(xiàn)明顯分層現(xiàn)象,晶元側(cè)邊有疑似分層現(xiàn)象,但該位置分層應(yīng)不會(huì)導(dǎo)致芯片失效。
圖5 芯片超聲掃描形貌
5 開封觀察
對(duì)失效芯片、正常芯片進(jìn)行開封觀察。開封結(jié)果顯示:失效芯片表面無(wú)明顯的燒毀、金屬殘余、裂紋等明顯異常,正常芯片也未發(fā)現(xiàn)有明顯缺陷。
6 定位分析
結(jié)果顯示:失效芯片通過定位發(fā)現(xiàn)有明顯亮點(diǎn),該亮點(diǎn)為pin7引腳附近,正常芯片未發(fā)現(xiàn)有異常點(diǎn),因此失效芯片發(fā)現(xiàn)的異常點(diǎn)為芯片內(nèi)部的失效點(diǎn)位置。
圖6 失效樣品定位形貌
7 紅外觀察
取下失效芯片晶元,對(duì)晶元背部進(jìn)行紅外觀察。觀察結(jié)果顯示:失效芯片定位發(fā)現(xiàn)的異常點(diǎn)位置襯底區(qū)域有疑似燒毀,正常芯片未發(fā)現(xiàn)明顯異常。
圖7 失效芯片紅外觀察形貌
圖8 正常芯片紅外觀察形貌
8 FIB切割分析
對(duì)失效芯片、正常芯片進(jìn)行FIB切割分析。結(jié)果顯示:失效芯片內(nèi)部有明顯燒毀現(xiàn)象,這與紅外觀察結(jié)果一致,燒毀附近位置未發(fā)現(xiàn)有明顯的質(zhì)量缺陷,正常芯片相同區(qū)域也未明顯的質(zhì)量缺陷,因此基本排除因芯片本身的質(zhì)量缺陷導(dǎo)致芯片失效。
圖9 失效芯片F(xiàn)IB切割形貌
圖10 正常芯片F(xiàn)IB切割形貌
結(jié)論
本文失效芯片經(jīng)過插拔幾次后出現(xiàn)失效,通過外觀檢查、X-ray檢查、失效現(xiàn)象確認(rèn)、超聲掃描、定位分析、紅外觀察、FIB切割分析等測(cè)試后,發(fā)現(xiàn)芯片是由于內(nèi)部線路層存在明顯燒毀引起的失效,結(jié)合失效背景,推斷芯片燒毀是由于單板在插拔過程中有浪涌沖擊導(dǎo)致的。
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